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Lithographie électronique

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  1. 27/12/2008 - 12h24
    shiryu2
    Date d'inscription
    novembre 2008
    Âge
    27
    Messages
    157

    Lithographie électronique

    Salut à tous,

    Quelqu'un connaît les étapes de la lithographie électronique?

    J'aimerais juste savoir si après le dépôt de la résine sur le substrat, il y a un chauffage de l'échantillon pour dissoudre le solvant dans lequel la résine a été préalablement dissoute?

    Peut-on aussi évaporer du solvant par la seule force de rotation?

    Merci
     
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