Définition - Lithographie électronique à balayage

[RSSBot]

Technique de gravure utilisant un faisceau d'électrons pour créer un motif en creux sur une surface. Elle est notamment utilisée pour la réalisation de circuits électronique à semi-conducteurs et dans...

Lire la suite : Lithographie électronique à balayage
Le glossaire Futura-Sciences

[Europa73]

Technique de gravure utilisant un faisceau d'électrons pour créer un motif en creux sur une surface. Elle est notamment utilisée pour la réalisation de circuits électronique à semi-conducteurs et dans...

Bonsoir.

Cette technique diffère elle beaucoup de la stéréolythographie ?

Cordialement,
Europa

[hellsing]

bonjour,

il ne me semble pas que la stéréolithographie soit utilisé dans le domaine de l'électronique mais plutôt pour fabriquer des maquettes ou des prototypes en résines d'objet d'une taille de quelques centimètres par chauffage laser.

Ici on se sert d'un faisceau d'électron pour endommager la résine protectrice du silicium et ainsi pouvoir doper avec un extreme précision les zones voulues du silicium.

Une telle méthode est bien plus lente qu'une photolitogravure ( et doit probablement se faire sous vide relatif comme l'implantation ionique).