Nettoyage plaques verre pour sputtering

[SonnePer]

Bonjour, je viens mettre ce forum à contribution pour un petit problème d'ordre pratique.

Je travaille dans un laboratoire R&D et nous effectuons des dépots de molybdene par sputtering (pulvérisation cathodique).

Un des problèmes rencontrés et que nous souhaitons améliorer est le nettoyage des plaques de verre de support (sodocalcique ou borosilicate). Pour l'instant nous fonctionnons avec un mélange d'eau déionisée, de liquide vaisselle et d'huile de coude suivi d'un séchage sous jet d'argon qui donne de plutôt bons résultats, néanmoins la technique n'est pas parfaite et pourrait profiter d'une certaine optimisation.

C'est donc en ce sens que je viens vous consulter

Merci d'avance!

Ps : on parle ici d'un nettoyage de plaques neuves, tous les mélanges ultra aggressifs du genre piranha pour la verrerie usagée ne sont donc pas à envisager, je préfére préciser^^
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[chem2014]

bonjour,

quand je travaillé sur des surfaces d'or (depot d'une fine couche d'or sur du verre), j'utilisais un mélange (H2O2/NH4OH/H2O: 1/1/5 en volume). je plonge ma plaque dans ce mélange à 80°C pendant 5 min puis je rince avec de l'eau Millipore sous ultrason pendant 1 min (3 fois) puis à la fin avec de l'ethanol absolue et je séchais sous un flux d'Ar.

mes surfaces étaient super propres (verification avec l'AFM) et ce n'est pas agressif par rapport au piranha et moins long que l'ozone/UV.

[chem2014]

pour réaliser mes greffages sur des surfaces de verre , j'ai trouvé cet article pour le nettoyage des surfaces de verre et leur influence sur la suite du greffage.

Optimization of gold nanoparticle-based DNA detection for microarrays.
Festag G1, Steinbrück A, Wolff A, Csaki A, Möller R, Fritzsche W.
J Fluoresc. 2005 Mar;15(2):161-70.

peut être ça pourrait vous aider.

[SonnePer]

Merci beaucoup pour vos réponses je test/lis ça et je vois si c'est possible à mettre en place

[A voir en vidéo sur Futura]

[Gramon]

J'ai aussi vu des méthodes de nettoyages qui consistait en un premier lavage avec du savon (liquide vaisselle), suivi de bains acides ou basiques, quelque chose comme HCl ou NaOH 15%. Les bains étaient sous ultrasons.

Sinon pour la vérification de la propreté du peux aussi mesurer la tension de surface.

[mastah71]

Salut,

Si ce n'est que pour préparer ta surface au dépôt de Mo, un nettoyage plasma Ar au sein de la pulvé suffit. Vérifie bien ton niveau de vide avant dépôt et pense à pulvériser ta cible de Mo sur le cache avant de le faire sur ton substrat!

Pour le nettoyage du verre, c'est plus compliqué que cela. Que cherches-tu à faire? et comment sais-tu que ton nettoyage chimique donne de bons résultats?

@+

[Boumako]

Bonjour

Lorsque je travaillais en optique nous faisions les dépôts en couche mince après un lavage potasse, acide acétique, méthanol et séchage, suivi d'un passage en étuve à 80°C.