Bonjour mes amis,
dans le domaine de la microélectronique,j'aimerai savoir les ions qu'n utilise pour le bombardement ionique de Si,GaN,Sic,...et les différents matériaux utilisés dans ce domaine. j'aimerai savoir aussi est ce que tous les matériaux sont bombardable? comment on peut faire le calcul pour avoir l’énergie nécessaire pour leur bombardement?j'aimerai savoir aussi ce qui se passe physiquement quand on envoie des ions sur un matériau donné.
j'aimerai aussi avoir d'autres applications industrielles ou scientifiques du bombardement ionique.
Je vous remercie bien d'avance pour vos réponse.
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