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Comment sont gravés aujourd'hui les microprocesseurs?

  1. ecolami

    Date d'inscription
    juillet 2006
    Localisation
    Seine & Marne
    Âge
    65
    Messages
    1 996

    Comment sont gravés aujourd'hui les microprocesseurs?

    Bonjour,
    Pendant longtemps les microprocesseurs ont été gravés par des techniques photographiques ou une résine photosensible était insolée et et les parties non insolées étaient dissoutes. Cela permettait de former des pistes couvertes de résine de plus en plus fine. La piste de résine devait résister aux agents de gravure.
    Mais aujourd'hui en ayant atteint une échelle nanométrique il n'est plus possible de procéder ainsi.
    Alors quelle est la technique actuelle qui permet un intégration a l'échelle nanométrique a très haute densité de composants?
    Je n'ai rien trouvé sur internet.

    -----

     


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  2. coussin

    Date d'inscription
    septembre 2010
    Localisation
    Paris
    Messages
    4 136

    Re : Comment sont gravés aujourd'hui les microprocesseurs?

    J'ai trouvé cette page : https://mybroadband.co.za/news/hardw...nd-to-cpu.html

    Ils parlent de photolithographie. Ce n'est pas clair pour moi qu'est-ce qui a exactement une taille de 22nm dans tout ce processus. Ce n'est pas clair non plus comment obtenir des détails de 22nm avec de la photolithographie... Ce sont des lasers XUV qui ont des longueurs d'onde de quelques dizaines de nm?
     

  3. LPFR

    Date d'inscription
    mars 2008
    Messages
    43 207

    Re : Comment sont gravés aujourd'hui les microprocesseurs?

    Re.
    Il fut une époque dans laquelle on parlait (et je crois même essayaient) des faisceaux électroniques (avec la même technique que le microscopes électroniques à balayage).
    https://fr.wikipedia.org/wiki/Lithog...%C3%A9lectrons
    Je ne connais pas les techniques actuelles.
    A+
     

  4. Resartus

    Date d'inscription
    octobre 2007
    Messages
    3 012

    Re : Comment sont gravés aujourd'hui les microprocesseurs?

    Bonjour,
    Pour l'instant, c'est toujours la photolithographie, mais avec des tas d'améliorations, qui permettent d'arriver à faire des gravures de 20 nm, avec les lasers UV actuels dont la longueur d'onde dans le vide est de 200 nm....
    Une méthode est celle du double motif. J'ai trouvé cet article qui explicite un peu
    http://www.tomshardware.fr/articles/...e,2-711-8.html

    Mais les progrès futurs sont basés sur l'usage de lasers en UV extrême (longueur d'onde dans le vide de l'ordre des 20 nm), ce qui permettra de descendre à des gravures inférieures à qq nm).
    Mais il n'y a pas que la gravure : la quantité d'atomes deviendra très faible (on passerait à quelques dizaines), et des tas d'autres phénomènes vont apparaitre
    Why, sometimes I've believed as many as six impossible things before breakfast
     

  5. ecolami

    Date d'inscription
    juillet 2006
    Localisation
    Seine & Marne
    Âge
    65
    Messages
    1 996

    Re : Comment sont gravés aujourd'hui les microprocesseurs?

    Bonjour,
    Le problème, à ces échelles nanométriques, n'est pas la source lumineuse. C'est comment peut on avoir des pistes de résine assez résistantes pour supporter la gravure?
    Avec les techniques d'impression laser on sait guider avec une extrême précision un faisceau mais s'il faut "écrire" tous les microprocesseurs un par un cela devient , me semble-t-il, impossible parce que trop long.
    L'écriture par balayage laser serait possible si, en fonctionnant dans un gaz (dopant) spécial (genre Hydrogène Arsénié, arsine), il était possible que de l'arsenic soit fixé là ou le laser a excité la surface.
     


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  6. Resartus

    Date d'inscription
    octobre 2007
    Messages
    3 012

    Re : Comment sont gravés aujourd'hui les microprocesseurs?

    Bonjour,
    Ce document montre des comparatifs (à partir de la page 12)
    https://www.euvlitho.com/2012/P18.pdf

    Des produits comme le HSQ (https://en.wikipedia.org/wiki/Hydrogen_silsesquioxane) ou l'inpria XE15IB devraient suffire pour l'EUV. Ensuite, ce sera sans doute plus dur....
    Dernière modification par Resartus ; 13/11/2017 à 11h10.
    Why, sometimes I've believed as many as six impossible things before breakfast
     

  7. XK150

    Date d'inscription
    mars 2017
    Messages
    785

    Re : Comment sont gravés aujourd'hui les microprocesseurs?

    Bonjour ,

    Pour la gravure 5 nm , ne reste envisagé pour l'instant que l'ultra violet " extrême " ou " profond " , à la limite des X .
    Cette série de petits articles résument bien la situation , voir le sommaire à gauche :

    http://www.journaldunet.com/solution...-puces/3.shtml.

    Le coût d'une usine est astronomique et se compte en milliards de dollars ...

    http://www.tomshardware.fr/articles/...m,1-62143.html
     

  8. XK150

    Date d'inscription
    mars 2017
    Messages
    785

    Re : Comment sont gravés aujourd'hui les microprocesseurs?

    Re ,

    Finalement , la technologie EUV est bien détaillée sur le Wiki anglais :

    https://en.wikipedia.org/wiki/Extrem...et_lithography
     

  9. ecolami

    Date d'inscription
    juillet 2006
    Localisation
    Seine & Marne
    Âge
    65
    Messages
    1 996

    Re : Comment sont gravés aujourd'hui les microprocesseurs?

    Bonjour,
    Merci pour ces informations! Je suis chimiste et je suis émerveillé de voir qu'il est possible de faire des résines photosensibles pour des résolutions nanométrique.
     


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