matériaux : films minces

[inviteb67efcc5]

On suppose qu'on a un dépôt de 3 couches minces
(par exemple : Al / Ag / Au ) sur la surface du substrat, et la somme de l'épaisseur de ces films est 60 nm .
question : comment peut-on savoir l'épaisseur de chauque film ?

et merci...
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[LPFR]

Bonjour.
Je pense qu'il plus facile de le mesurer au moment de la fabrication (du dépôt sous vide, j'imagine) avec une balance à quartz.
Peut-être (je n'en sais rien) que l'on peut déduire quelque chose en mesurant les coefficients de réflexion et/ou transmission en utilisant les valeurs complexes des indices de réfraction des métaux, qui sont bien connus. Ou éventuellement, avec la réflexion de lumière polarisée en incidence oblique.
Au revoir.

[Jeanpaul]

Si sur les bords on arrive à créer des marches d'escalier, on devrait pouvoir mesurer les épaisseurs avec un microscope à force atomique, non ? Si ça peut mesurer une épaisseur, ça doit pouvoir en mesurer 20.