SiO2 par oxydation ou par dépot

[elmostafabarik]

Bonjour mes amis,

pour les composants électroniques on dépose une couche d'isolation SiO2 sur le Silicium, on peut le faire soit par l'oxydation de Si sur le substrat Si soit en déposant une couche de SiO2 sur le support silicium.

J'aimerai savoir s'il y'a une différence entre les deux par rapport aux propriétés de la couche, j'aimerai aussi avoir plus d'information par rapport aux dépôt de SiO2 (procédé,paramétres,conditions ,...)

je vous remercie bien d'avance pour vos orientation par rapport à ce sujet.
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[DAUDET78]

Huit questions folklos entre 12H et 14H30 ...... Tu viens de battre un record !

[f6bes]

Bonjour mes amis,

pour les composants électroniques on dépose une couche d'isolation SiO2 sur le Silicium, on peut le faire soit par l'oxydation de Si sur le substrat Si soit en déposant une couche de SiO2 sur le support silicium.

J'aimerai savoir s'il y'a une différence entre les deux par rapport aux propriétés de la couche, j'aimerai aussi avoir plus d'information par rapport aux dépôt de SiO2 (procédé,paramétres,conditions ,...)

je vous remercie bien d'avance pour vos orientation par rapport à ce sujet.

Oui il y a une différence, voir Wikipédia!
A+

[elmostafabarik]

Bonjour,

je suis entrain de travailler sur une problématique, et j'ai préparé toutes mes questions pour pouvoir les poser.

je me suis basé su Wikipedia pour pouvoir poser ces question, je n'ai pas trouver des réponse clairs.

Merci pour votre échanges.

[A voir en vidéo sur Futura]

[Antoane]

Bonjour,

Déplacement de la discussion du forum d'électronique vers la physique. Ils sauront peut être mieux répondre.

[elmostafabarik]

Bonjour Antoane ,

Merci bien , c'est ce que je vais faire !