Capteur d'oxygène

[Pic18f4620]

Bonjour,

avez-vous connaissances d'un capteur pouvant mesurer de l'oxygène dans un milieu sous-vide de l'ordre de quelques millitorr (millibar) a environ une dizaine de Torr (soit environ 13.3 Bar).

Le but étant de detecter toutes intrusions d'oxygène pouvant provoquer de l'oxydation ==> c'est pour de la microélectronique c.à.d. fabrication de puces électronique.

Autres questions pouvez-vous me donner quelques précisions sur l'oxygène dissous ?

En vous remerçiant d'avance.

Julien.
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[ecolami]

Bonjour,
Je ne suis sûr que ce soit de la chimie...
Je n'ai pas la réponse a la question mais je sais que pour piéger les ultra-traces d'oxygène ou azote on emploie une grille de titane chauffée à 150°C (à vérifier, ça fait si longtemps que j'ai eu cette information)
Je crois qu'un chauffage plus fort permet de régénerer mais, pareil, a vérifier.
Ce qui m'avait marqué était cette capacité du titane a adsorber toutes sortes de gaz a l'état de traces.