Salut à tous,
Quelqu'un connaît les étapes de la lithographie électronique?
J'aimerais juste savoir si après le dépôt de la résine sur le substrat, il y a un chauffage de l'échantillon pour dissoudre le solvant dans lequel la résine a été préalablement dissoute?
Peut-on aussi évaporer du solvant par la seule force de rotation?
Merci
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