Processus de Lithographie

[invite7f9f1c8d]

Bonjour,
"sur un texte référrée je lis:
" the Au loops in this experiment were fabricated on oxidized Si substrates using a standard bilayer electronbeam lithography process, followed by thermal evaporation of Au and liftoff "

je ne connais pas ce processus de lithographie, pouvez vous me l'expliquez svp ? ou bien me renvoyez a des liens (en français si possible) ?

qu'est-ce qu'un liftoff svp ?

il me semble que electronbeam c'est un faisceau d'electrons, mais je ne sais pas traduire "bilayer electronbeam" et je ne vois pas pourquoi l'on utilise ce type de lithographie ?

Merci de m'aider
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[invite03271d33]

Salut. Va voir là :
http://perso.chello.fr/users/j/jmpon...hographie.html
@+

[invite7f9f1c8d]

la lithographie je connais electrome, merci bien. ce que je ne comprends pas c'est ce qu'ils appellent la lithographie par faisceau d'electrons (electronbeam ?).

[invitee2a89271]

SAlut,

Le but de la litho électronique c'est de faire la meme chose qu'avec la litho optique mais avec une meilleur résolution. Grosso modo avec une litho optique tu peut définir des motifs au minimum de 400 micron et avec les électron tu peux descendre à la dizaine de nanomètre (je garantie pas les valeurs exacte).

[A voir en vidéo sur Futura]