Problème d'arc électrique et résistance

[invite8f888d91]

Bonjour,

je travaille avec une enceinte à vide pour faire des dépots de couche mince. On peut appliquer une haute tension (jusqu'à 22 000 volts) au niveau du substrat pour améliorer le dépôt. Malheureusement, j'ai des problèmes d'arc électrique à partir de 2000 volts. Un fournisseur m'a conseillé de mettre une résistance en série pour limiter ce phénomène. Il me conseille une résistance bifilaire Heine 100 Ohm 200 Watts. J'ai plusieurs questions :
1) Pensez-vous que la résistance va améliorer le problème d'arc ? Quel est le paramètre qui est modifié ? S'agit-il de dissiper le max de puissance ?
2) Que signifie le "200 Watts" dans la désignation de la résistance ? Je ne pense pas qu'il s'agisse de la puissance dissipée, puisque celle-ci dépendra de la tension/du courant (P=U.I=R.Icarré). Correct ?

Je ne connais pas bien l'électronique, donc que les pros m'excusent pour les appellations qui sont incorrectes

Merci de votre aide. Cordialement.
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[invitee05a3fcc]

L'arc est dans la partie sous vide ou hors vide ?

La résistance? Bof, je vois pas bien, sinon de limiter le courant. C'est quoi ton générateur de THT?

Ton passage de THT dans l'enceinte à vide est fait comment?
Une p'tit photo du lieu du crime?

[f6bes]

Bsr Ericsing,
S'agit il d'aluminure de miroir ?
http://www.obs-hp.fr/www/guide/IMG_6528_x.jpg
A+

[invite8f888d91]

Merci pour ces réactions rapides.Voici quelques réponses:
- f6bes : non, il ne s'agit pas d'aluminure de miroir, mais le principe est un peu le même. Il s'agit de PIII&D (Plasma Immersion Ion Implantation & Deposition - Implantation Ionique et Déposition par Immersion Plasma). On fait le vide, on crée un plasma, les cations ainsi générés entrent en collision avec une cible chargée négativement (qui est l'alliage métallique à déposer), et les atomes de la cibles éjectées par l'impact se déposent sur le substrat.
- DAUDET78: l'arc est dans la partie sous vide , et malheureusement je n'ai pas de fenêtre dans l'enceinte et je ne vois pas ce qui se passe. C'est un témoin lumineux prévu pour cela qui m'indique qu'il y a un arc. J'ai du mal à répondre à tes autres questions. Le générateur HT est un RUP 6-22b de chez GBS Elektronik. Est-ce cela que tu voulais savoir ? Je joins également une photo du passage de l'arrivée HT à l'enceinte.
Merci


Bonjour Ericswing et tout le groupe

Pour être en conformité avec l'épinglé

http://forums.futura-sciences.com/thread163927.html

l'image au format zip a été supprimée.

Merci de la réduire en taille et de la placer dans une extention réservée aux images.

[A voir en vidéo sur Futura]

[invitee05a3fcc]

Si ça flash à 2KV dans le vide (quelle valeur de vide?) ... C'est que tu as (au choix):
1/ une distance trop faible entre ton fil THT et la masse (1KV =1mm)
2/ des isolants (alumine ?) pollués par des dépots métalliques précédents
3/ des effets de pointe sur ton fil THT
4/ ton voyant de détection d'arc est trop sensible ...

Tu as une indication du courant d'ionisation? Il doit grimper quand il y a un arc? Si tu vois rien, tu es sûr que c'est dans le vide ? Si tu retires le fil THT qui est dans l'enceinte, ça alarme toujours?

[gienas]

... Je joins également une photo du passage de l'arrivée HT à l'enceinte ...

Voilà, après passage par xnview, la même image réduite à 55ko.

C'est bien la preuve que c'est faisable, sans perdre les informations que tu souhaites partager.

[invitee05a3fcc]

Je suppose que du coté vide, le passage à la même forme. Donc débranche le fil THT interne et teste. Si ça arc, tu nettoies la porcelaine.

PS: Il n'y a pas de capot de protection sur cette zone ? En cas d'accident, ton patron payera le MAX !!!!!! Vous avez un Comité Hygiène et Sécurité?

[invite8f888d91]

Premièrement : désolé pour le fichier attaché qui ne respecte pas les règles du forum, c'est juste que j'avais qu'une seule image à disposition, et que je ne connaissais pas Xnview... (OK, la honte). Merci gienas pour avoir fait le nécessaire.
Ensuite : DAUDET78, normalement, il y a un capot de protection mais je l'ai retiré pour prendre la photo. Je vais faire la manip que tu suggères, mais pour l'instant il n'est pas prévu d'ouvrir l'enceinte. Donc on n'aura pas la réponse tout de suite. Mais honnêtement, je n'ai pas encore mis les mains dans l'enceinte et je ne sais pas si on peut facilement débrancher le fil THT. Suggestion : puis-je simplement faire un test sans le capot de protection, afin de voir si ça arc à l'extérieur ?

[invitee05a3fcc]

J'avais pas l'impression qu'on pouvait mettre un capot d'après les fils qui passent sur le coté ...

1/ Débranche la connexion externe sur la traversée et teste l'arc
2/ Rebranche la connexion externe sur la traversée et teste l'arc

[jiherve]

Bonsoir
On se souviendra avec intérêt que dans un gaz la distance d'arc décroit avec la pression, enfin moi ce que j'en dis.
http://fr.wikipedia.org/wiki/Loi_de_Paschen
JR

[invitee05a3fcc]

Ben justement,Jiherve, ton lien indique que la distance diminue avec une diminution de pression, mais ré-augmente si la pression diminue encore

[jiherve]

Re
Oui camarade mais le problème est de savoir ou se situe la manip de notre plaideur?
Pour le reste je suis d'accord avec toi la HT/THT cela n'aime pas la polution, les pointes et les mauvais isolants.
JR

[invitee05a3fcc]

A priori, dixit ma boule de cristal, il doit travailler avec un bon vide (au moins un vide primaire) pour faire un bombardement ionique. Et je pense qu'il en flanque partout (des ions)!

[invite8f888d91]

Merci de l'intérêt que vous portez à mon problème. jiherve, merci pour le lien qui est un bon rappel.

Je travaille avec un vide d'environ 5.10-7 Pa, voire moins.

DAUDET78, la photo donne un mauvais rendu, mais les fils que tu aperçois sont en arrière-plan. Autre chose : je ne comprends pas ta suggrestion "1/ Débranche la connexion externe sur la traversée et teste l'arc". Si je débranche la connection externe, je n'ai plus rien, non ? Voulais-tu dire "débranche la connection INTERNE", comme tu l'avais suggéré précédemment, afin de vérifier que l'arc est à l'extérieur (ce qui serait probablement dû à de la pollution de la céramique), ce que je pensais pouvoir vérifier en faisant la manip sans le capot de protection (afin de voir l'arc directement) ? Est-ce que j'ai bien compris ?

Par contre, si ça flashe dans le vide, pensez-vous que j'ai une céramique polluée à l'intérieur ? Comme je l'ai dit, je ne l'ai toujours pas ouverte, je ne sais pas trop comment est faite l'arrivée HT à l'intérieur, et je n'ai pas non plus les plans sous la main (le collègue qui les a est parti en congrès).

Cordialement

[invitee05a3fcc]

"1/ Débranche la connexion externe sur la traversée et teste l'arc". Si je débranche la connection externe, je n'ai plus rien, non ?

C'est toi qui le dis !
cette manip a pour but de tester la liaison THT jusqu'à la traversée (exclue). Si tu as un arc, c'est que le problème est en amont, sinon, c'est en aval.

Si tu n'as pas d'arc, c'est donc que c'est à l'intérieur (dans l'enceinte) et je pense à une pollution des isolants.

PS: Elle a eu marché un jour cette enceinte avec 15KV ?