Bonjour,
Je sais réaliser un plasma froid hors-équilibre à partir d'un gaz en appliquant une différence de potentiel de quelques milliers de volts continue.
Mon problème est que j'ignore complètement les effets du plasma sur le gaz. Je sais que le gaz est altéré mais j'ignore comment. Si quelqu'un sais ça pourrait m'aider.
Qu'entends-tu par "le gaz est altéré" ?
Et dans le cas d'un plasma froid HE, le plasma est un gaz faiblement ionisé.
Bonjour,
Pour préciser mon expression "altéré", Je sais que mon gaz subit une modification mais j'ignore tout de cette modification.
Pour être plus précis, le gaz que je souhaite utiliser, est un gaz à base de fluor. (Je veux déposer un film fluoré sur un objet en alumine.) Je sais que le gaz : Octofluorocyclocarbone est le plus approprié pour cette activité mais il coute cher (du moins pour les ressources dont je dispose). Je veux faire des essais pour valider le process avec des gazs de réfrigérateur (proche cousin de mon gaz, je me limite au HFC protection couche ozone oblige) mais ces derniers contiennent des ions Hydrogène et je voudrais savoir si j'ai des risques de modification des molécules qui formerait du HF dans mon enveloppe.
Il est vrai que mon plasma se réalise sous un vide poussé aussi les quantités de gaz dans l'enveloppe seront faibles mais je veux quand savoir s'il y a un risque.
Merci d'avance pour les réponses!
Malheureusement il y a un risque non négligeable. Le Fluor est connu pour réagir chimiquement avec de nombreux corps gazeux, dans ton exemple avec l'atome H. Généralement, le fluor capte un électron (affinité chimique grande) et se combine avec un autre corps (cas du, qui forme des
On rentre donc dans le domaine de la chimie plasma. Quand tu vas amorcer ton plasma, une quantité importante de réactions chimiques vont avoir lieu. Première étape : lister toutes les réactions qui peuvent avoir lieu dans le plasma pour la dissociation moléculaire. Généralement, une poignée de réactions est majoritaire, donc le problème se resserre de lui-même. Tu peux donc connaître approximativement le type de molécules qui va se former au bout d'un temps donné.
Deuxième étape : cette molécule s'associera-t-elle chimiquement avec l'alumine ? Dans ce cas, il faut que tu cherches dans la bibliographie qui a déjà réussi à déposer du fluor pur (je doute que cela soit possible, mais admettons) sans que ce dépôt soit contaminé par des molécules ambiantes provenant de la dissociation dans le plasma. Le but étant de savoir si avec le gaz utilisé, il se forme (et donc se dépose, si cela est possible) davantage de HF que de F.
J'espère que ça répond à ta question. Si tu souhaites des précisions, n'hésite pas.
merci pour ces éclairsisements,
Différents articles que j'ai pu consulter sur le net provenant de différent laboratoire, montrent qu'il est possible de faire ce type de dépot. Ceci à déjà été fait. Des études ont montré par exemple que le gaz Octofluorocarbone était moins éffecace que le Octofluorocylclocarbone. (Différence de double liaison et forme cyclique entre les deux molécules)
On a aussi un meilleur résultat avec un mélange C4F8/Ar
Les gaz dont je parle sont composé uniquement de Carbone et fluor enlevant ainsi une parti de mon problème.
Ma but est de voir si je suis capable de faire ce dépot. Et pour cela, mon supérieure refuse, pour le moment, (faut le travailler à l'usure) de payer pour acheter le gaz qui n'est disponible quand grosse quantité (par rapport à nos capacités).
Je dois donc utiliser d'autre gaz proche. (ça je l'ai déjà dit je crois)
Voila il n'y a aucune question c'est uniquement à titre informatif sur la réalisation de ce que je souhaite faire.
Juste pour vous tenir au courant,
J'ai pu rencontre "Monsieur plasma" qui m'a expliqué un peu ce qui se passait dans un plasma :
Tu prend un gaz, il est composé de molécule et d'électron. Les electrons vont bouger très vite dans le champ électrique et vont percuter les autres molécules.
Cassant ainse les liaisons et en créant de nouvelle :
conclusion : ton plasma contient tout les mélanges possible et imaginable que peuvent créer chaque molécule élémentaire. Une soupe au electron quoi?
Autre vulgarisation :
tu prend tout les composés chimiques, tu les mets dans une bassine, tu mélange très fort et tu vois alors des mariages improbables.
