Bonjour,
Nous étudions un plasma créé par une onde radiofréquence dont nous pouvons régler sa puissance et la puissance réfléchie par un boité d'acquisition.
Nous avons pu mesurer la densité et température électronique en fonction de la puissance de l'antenne.
Question 1
Nous avons remarqué que la densité électronique augmente assez fortement (sorte de courbe polynomiale d'ordre 2) en fonction de la puissance de l'antenne lorsque notre gaz neutre est à la pression de 5mTorr.
En revanche, lorsque nous sommes à une pression plus faible (1mTorr), la densité électronique augmente linéairement en fonction de la puissance.
Sachant que notre antenne peut avoir une puissanec variant entre 100 et 500 W.
Je comprends bien pourquoi la densité électronique augmente en fonction de la puissance car plus notre antenne est puissante, plus son champ electrique va etre grand et plus l'ionisation sera grande.
Je ne comprends pas par contre pourquoi en fonction des deux pressions nous n'avons pas le même type evolution (pk les deux ne sont pas linéaires ou polynomiale). Est-ce que c'est parce que les electrons (a grande puissance d'antenne) ont acquis suffisamment d'énergie pour ioniser d'autre molécule du gaz neutre et que la probabilité de collision est plus grande quand nous avons une plus grande pression??
Question 2
Lorsque nous avions la pression d'1mTorr, nous nous sommes rendu compte que nous pouvions pas dépassé une puissance de 420W alors que lorsque nous étions a une pression de 5mTorr nous pouvions facilement atteindre les 500W de puissance pour l'antenne.
Mon avis:
Nous pouvions controler la puissance réfléchie de l'onde avec un boitier qui nous permettait de regler une impédance en parallèle de l'impédance du plasma.
--> je me suis dis que plus la pression sera faible, plus l’impédance de mon plasma sera faible donc on possède un faible coefficient de transmission mais un grand coeffficient de reflexion. C'est pour cela qu'au dela d'une certaine puissance, il y a trop de reflexion et une impossibilité de dépassé une certaine puissance d'antenne.
Est-ce cela ou pas du tout ?
Merci d'avance pour vos réponses,
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