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Technique d'analyses couche minces



  1. #1
    nikkos

    Technique d'analyses couche minces


    ------

    Bonjour à tous
    je dispose d'un échantillon poreux en Inconel 600, recouvert de 150nm de TiN.
    Avec quelles techniques peut on vérifier la présence de TiN sur l'échantillon. Et mieux existe-t-il des techniques permettant de mesurer l'épaisseur de TiN.

    J'ai pensé à de l'XPS, c'est bien mais difficile à trouver.
    Peut on faire cette analyse en PM-IRRAS? l'échantillon étant poreux il ne réfléchit pas bien la lumière

    -----

  2. #2
    stef

    Re : Technique d'analyses couche minces

    Pour caractériser ta couche mince tu peux utiliser l'XPS comme tu l'as dit, c'est la technique de choix, il y a aussi le tof-sims mais c'est aussi facile à trouver qu'un xps (plus dur même je pense). Sinon tu peux essayer la fluorescence X aussi. Pour le calcul de l'épaisseur tu peux peut etre essayer de voir en afm, en ellipsometrie mais il te faut l'indice de ta couche mince, ou peut être en meb avec des détections des électrons retrodiffusés en faisant un image de la tranche mais j'y crois moyen.

    Pour la caractérisation tu peux aussi voir du coté de la rbs, j'avais oublié.
    Tout travail merite salaire, j'attends toujours!

  3. #3
    nikkos

    Re : Technique d'analyses couche minces

    Merci à toi après documentation je pense que l'XPS est le bon choix

  4. #4
    Nichemical

    Re : Technique d'analyses couche minces

    La microsonde X (ou de Castaing) peut aussi te permettre de vérifier la présence des éléments Ti et N sur la surface de ton échantillon, mais aussi le profil de concentration de tes éléments sur sa tranche.
    Mais si tu n'a pas accès à un labo spécialisé ça risque d'etre difficile...

    L'XPS fera surement très bien l'affaire.

  5. A voir en vidéo sur Futura

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