Film de SiOC

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Bonjour,

Je suis un probléme concernant un film de SiOC sur du Si.

- Déjà j'aimerais savoir le nom de ce composé? Carbonate d'oxyde de silicium?

- Ensuite j'ai du mal à comprendre comment formé le SiOC. En effet il y 4 liaison sur le C et le Si et 2 sur le O donc à part faire un "triangle" avec une triple liaison entre Si et C... je ne vois pas trop. Ou peut-être que l'on a pas 1 atome de chaque quand on le forme? Ce que je sais c'est que c'est amorphe...
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[moco]

SiOC n'est pas une formule chimique. Cela désigne une partie de l'espace où apparaissent des liaisons Si-O-C.

[invitea61c15e2]

Ah oui d'accord je comprend mieux.
Dans mon cas j'ai environ 100 nm de SiOC poreux sur le wafer de silicium.