Limite de résolution d'un MEB

[invitea6fdf548]

Bonjour tout le monde,

J'aurai aimé savoir si quelqu'un savait d'ou venait la limite de résolution des microscopes électroniques à balayage.

Si la résolution était uniquement liée à la longueur d'onde des électrons on aurait des résolutions subnanométriques.

Merci
-----

[invitea6fdf548]

Finalement j'ai trouvé.

Pour ceux que ca interesse, la résolution dans un MEB est déterminée par le diamètre et la profondeur de sortie des électrons secondaires.
Elle est donc directement liée à la profondeur de pénétration des électrons primaires.

C'est donc limité en majorité par l'énergie du faisceau incident !