Ablation laser et pulverisation cathodique

[Hanafus]

bonsoir, j'etudie deux technique depot de couche mince et j'ai deux question:

- sa veut dire quoi une interaction electron-phonon ?
-sa veut dire quoi une tension radiofréquance ? utiliser dans la pulvérisation cathodique lorsque les atome a diposer sont isolants
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[LPFR]

Bonjour.
Dans la pulvérisation cathodique classique (des métaux), on pouvait alimenter la décharge avec de la tension continue ou du 50 Hz.
Si on n’a pas d’électrodes conducteurs, on peut faire circuler du courant pour alimenter la décharge avec de la tension de haute fréquence (des fréquences utilisées pour la radio) : des radiofréquences (des centaines de kHz ou des MHz). Les courants passent alors vers le gaz par effet capacitif.

Dans le cas ordinaire, l’interaction électron phonon correspond au choc entre un électron avec un atome du réseau, auquel il communique une partie de son énergie cinétique (il crée un phonon).
Au revoir.

[Hanafus]

je vous remerci