Pulvérisation cathodique réactive RF magnetron (ouf!)

[invited4abeacd]

Bonjour,

Je suis acutellement en stage et je travaille sur un équipement de pulvérisation cathodique afin de déposer des matériaux "composés" (alliages, oxydes, etc ...). Je souhaitais savoir si quelqu'un avait un ouvrage à me conseiller spécialisé sur cette méthode de dépôt. J'ai parcouru de nombreux ouvrages souvent trop généraux sur les méthodes PVD et CVD de dépots de couches minces et parfois je tombe sur des livres qui semblent s'intéresser uniquement à la pulvérisation cathodique et qui en fait ne sont que des recueils de publication n'évoquant pas des phénomènes généraux (tel que effet de la pression, de la tension, de la température, empoisonnement de la cible réaction en phase homogène, en phase hétérogene, comportement du plasma) mais des effets très appliqué à un type de dépot d'un type de matériaux et très difficilement portable vers ma méthode de dépot.

Je vous remercie par avance
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[invite8f888d91]

Bonjour,
je suis à peu près dans la même situation que toi quand tu as rédigé ce message. J'ai posté un sujet très similaire (voir http://forums.futura-sciences.com/thread242652.html). En gros, il faut croire qu'il n'y a pas de règle générale. C'est l'habitude et les manips qui te donnent le feeling. Mais depuis que tu as posté ce message, peut-être as-tu eu d'autres pistes ? Sur quel appareil travailles-tu exactement ?
Cordialement

[invite2b15e126]

bonjour mois aussi je suis dans la même situation que vous .je sis actuellement dans la recherche d'un sujet (spetrophotometrie du revêtement des verres ophtalmique) je dois calculer les facters de ref
lexion et transmission des couches minces (en différente epaisseur)
mnt je travaille sur 2 technique l'évaporation thermique et la pulvérisation cathodique dans le but de faire des dêpot des métaux et d'oxydes.le probleme c ke j'ai rien trouver sur lla pulvérisation cathodique radio fréquence (principe ,méthode ....)
priez svp de bien vouloir m'aider et je vous promis si je trouve qql choses je vous envois atomatiquement. merçi d'avance