Bonjour,
dans un ouvrage en anglais, j'ai vu les expressions "capacitively coupled RF plasma sources" et "inductively coupled RF plasma sources".
1) Quelle traduction proposeriez-vous pour ces expressions ? Quelque chose comme "sources plasma par RF couplé de manière capacitive (resp. inductive)" me paraît lourd, voire inexact.
2) Quelles sont les différences entre le ces deux types de montage ?
Merci de votre aide
Cordialement
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