Impédance d'un plasma ?

[invite946e9684]

Bonjour à tous et à toutes,

Je travaille actuellement sur une machine de traitement de surface par plasma. Mon objectif est de comprendre comment celle-ci fonctionne car c'est un nouveau moyen de production, et je dois rédiger un rapport qui apportera toutes les bases nécessaires à la compréhension globale du système.
Le gaz utilisé est du C3F6 (Hexafluoropropylène). Le traitement que l'on applique vise à rendre une surface hydrophobe par dépôt d'une couche mince de particules de fluor (10nm). Ma question porte sur une notion qui m'est encore inconnue et pour laquelle j'ai beaucoup de mal à trouver des informations. Les électrodes servant à la ionisation du gaz sont alimentées par un générateur RF calibré à 13,56MHz. En aval de ce boitier il y a un boitier AT-3 de marque SEREN appelé boitier d'impédance. J'ai cru comprendre qu'il y a une notion d'impédance dans la formation et l'entretien du plasma mais je ne sais pas réellement à quoi cela correspond.
La compréhension de cette notion pourrait m'aider d'une part à mieux comprendre le principe du traitement plasma et d'autre part à mieux définir le rôle des éléments électroniques mis en place.
J'ai posté dans cette rubrique car je cherche bien à comprendre ce que représente l'impédance du plasma et comment cela se caractérise physiquement (si c'est le cas) en son sein. Peux-t-on par ailleurs définir le dimensionnement des équipements via cette information ? (énergie à apporter, puissance des éléments...)
Si vous avez des informations ou des liens à ce sujet, je suis preneur.

Merci d'avance !
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[invite6dffde4c]

Bonjour.
Je ne suis pas spécialiste des plasmas.
Le boitier "impédance" doit être un adaptateur d'impédance entre le générateur RF qui doit sortir en basse tension et les électrodes qu'il faut alimenter en haute tension. Il s'agit, peut-être, d'un simple transformateur RF.
L'impédance d'un plasma a un sens, car c'est un conducteur. Mais la valeur dépend du gaz, de la pression, du degré d'ionisation et, bien sur, de la fréquence. Cette dépendance est très compliquée. Si vous pouvez, consultez la "bible" des décharges dans des gaz:
James D. Cobine (1941, reprints in 1958, 1970)). Gaseous Conductors; Theory and Engineering Applications. McGraw-Hill or Dover reprints.

Je ne pense pas que l'impédance soit le paramètre intéressant (elle n'est pas facile à mesurer non plus). Pour le taux de déposition, je pense que ce qui prévaut est la pression et la température du plasma (je vous rappelle que je ne suis pas spécialiste).

Regardez wikipedia. Ça vous donnera, peut-être, un fil à tirer.
Au revoir.

[david_champo]

Bonjour,

Je ne suis pas non plus un expert en plasma mais si je ne me trompe pas, l'impédance correspond au rapport du champs électrique sur le champs magnétique :

Cette notion doit être liée aux mode de plasma et à la relation de dispersion k(w).

Voici des ouvrages en français qui peuvent vous donner quelques réponses à vos questions :
- Physique des plasmas (vol 1 et 2) de Jean-Loup Dekcroix et Abraham Bers, CNRS Editions.
- Physique des pasmas de Jean-Marcel Rax, ed. DUNOD.

Cordialement,

David

[invite946e9684]

Tout d'abord merci pour vos réponses. Pour ce qui est de wikipédia, je pense avoir quasiment fait le tour des articles en rapport avec le plasma (du moins sur le wiki Français). Par contre, j'ai certainement la possibilité de me procurer les bouquins que vous avez cités, via mon entreprise. Je jetterai un oeil aux techniques de l'ingénieur par la même occasion, je devrais y trouver mon bonheur.

Bonne journée !

[A voir en vidéo sur Futura]